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电子枪
用途：用于各种电子束镀膜机，特别适于镀制较高要求的光学薄膜。
特点：
l 结构形式：枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，电子束运动轨迹为270°，发射电流的稳定性优于±2%；使用精确到个位数的数显表显示束流，通常只能观察到±1mA的数字变动（比如调整到500mA，数字量一般在499~501之间）；
l 束流调整线性化，用手控盒时，束流旋钮一圈对应100mA束流，使用晶控控制时，POWER10%对应100mA束流，20%对应200mA束流，等等；
l 高压从-4KV到-10KV连续可调，并带稳压功能，电压调整率非常小，即束流从小到大调节时，高压基本不会变化；快速灭弧电路可在1ms之内切断打火电弧，如果电弧能量超出了快速灭弧电路的工作范围，高压复位电路启动，高压和束流电路切断，待电弧消失后自动复位；
l X、Y扫描范围为±15mm，X、Y位移范围为±15mm；位移和扫描全部可以通过电脑设定；束流变化时，光斑位置不会变化；蒸发面平整，不会出现扎小坑现象（如SIO2，MGF2）；
l 扫描频率：横向500Hz，纵向50Hz；
l 高压电极为陶瓷焊接结构，真空室外接线部位有聚四氟乙烯套筒保护；
l 可以使用的真空度：7X10-2Pa以下；
l 功率：10kW；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%；
OSP-10F电子枪电源技术规格
输入电压 | 三相380V，50Hz |
要求功率 | 最大功率：13KVA |
| 空载功率：400VA |
发射电流 | 调节范围：0~1000mA |
| 稳定性：优于±2%（基本上能观察到±1mA的变化） |
高压输出 | 调节范围：-4KV~-6KV |
| 输出稳定性：小于±2% |
| 纹波：小于±5% |
最大输出功率 | 10KW |
Y扫描频率 | 300~500Hz |
灯丝电压 | 11V |
灯丝电流 | 最大50A |
扫描位置 | 最大输出电流：±1.3A |
扫描方式 | 三角波6AP-P |
扫描频率 | X：50Hz，Y：500 Hz |