

| 品名:大颗粒球形氧化钇 分子式:Y2O3 |

白色粉末,产品纯度高,热导率低,其制备涂层就有良好的隔热效果,使用寿命高。

1、用于热喷涂粉末,代替氧化铝等材料;
2、热喷涂用球形氧化钇粉属于热喷涂技术和陶瓷材料技术用粉,是一种原始颗粒为亚微米结构的含氧化钇热喷涂用团聚型球形粉末。该粉末材料特别适合作热喷涂原料,由于氧化钇涂层具有比氧化铝更好的抗等离子体冲蚀性能和更长的使用寿命, 而逐渐取代氧化铝陶瓷涂层材料, 应用于等离子刻蚀机内,成为等离子体反应室铝质零件防护涂层的发展趋势。主要用于制备电子器件或半导体器件的抗等离子腐蚀涂层。同时,Y2O3涂层在其它集成电路装备中也获得了广泛应用。






纯度:99.999%
粒径:20-35um,45~75um

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