质量流量计系列是检测部采用了本公司独立开发的热式流速传感器。
使用微型机器技术、把超微细的流速传感器与高级的流路设计技术进行融合，用低价格实现了以前没有的高精度、宽可调比。
适用于生产工序、实验装置等使用的燃料煤气??各种工业煤气??工厂空气的流量管理及各车间的使用量管理等。
质量流量检测
与空气、煤气的使用温度、压力无关，可测量换算成标准状态下的流量。
（* 标准状态下的流量是指在1个大气压、0°C（或20°C）时的体积流量。）
宽广的测量范围
相对于最大测量流量的低流量区域，一般的气体流量计都难于检测，通过搭载μF传感器，可实现宽广范围的测量、控制。实现了质量流量计CMS的可调比100：1、大流量质量流量计CML的可调比160：1（测量范围为1,280：1）的高可调比！
最适合于空气及燃气的使用量的管理、及节能的漏气管理。
快速响应
传感器直接与气体接触进行检测，实现了快速响应。
低圧损构造
μF传感器设置在流路的壁面上，所以阻碍流体流动的构造体少，具有低压力损失的特点。最适合于低圧气体流量的检测、控制。
高精度
质量流量计采用RD（读数）精度规定，实现了宽广流量区域下的高精度检测。
各种功能
通过控制机器积累的微电脑的技术，搭载了以前的质量流量计没有的各种功能。
瞬时／累积流量显示、煤气种类切换功能、上下限报警输出、模拟输出、累积脉冲输出、通信功能等 （* 因产品而异）
种类丰富的产品
根据使用用途，备有从0～500mL/min到0～1600m3/h的宽广流量区域的产品。
